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普发分子泵维修:普法分子泵常识
作者:管理员    发布于:2018-08-17 15:37:39    文字:【】【】【

在选择和操作分子泵时,犯下许多错误并不鲜见。只需考虑到各个泵型号的有效特定参数,便可避免犯下错误。下文中,您将会看到关于常用分子泵的运行、选择以及维护等方面的重要信息的概述。


涡轮分子泵:强大而可靠


涡轮分子泵是高真空或超高真空泵,主要由转子和定子两部分组成。一个旋转的转子盘和一个静止的定子盘组成了一个泵级,泵级产生一个特定的压缩比。


通过连续开启增加压缩效果的多个泵级,可以获得高达 1013 的压缩比。现代真空泵在后侧使用 Holweck 级,减少了涡轮级的数量而不影响压缩效果。同时,允许的前级管道压力增加至 30 hPa 以上。这样便极大减小了前级泵的尺寸,并可首次将隔膜泵作为前级泵使用。

无额外压缩级的涡轮分子泵应用于易凝结、升华以及形成颗粒的过程,这样可以防止狭窄的缝隙导致的沉积、机械损伤及堵塞。


磁场与辐射


磁场在运行中的涡轮分子泵转子上产生涡电流,这会加热转子并使其迅速过热。所需能量来自电子设备,并导致电机中电流的显著上升。这代表了转子的直接加热值。


真空泵生产厂商操作说明书中规定了以 mT(毫特斯拉)为单位的最大允许磁场值。如果超过这些值,则必须对泵进行屏蔽;如果已知磁场的分布情况,则必须对其进行重新部署。


在粒子加速器附近存在着不同强度和持续时间的中子和伽马辐射。这种辐射破坏安装在泵上的电子驱动器和变频器,两者都具有非常敏感的功率晶体管和二极管。在这种情况下,必须使用连接电缆将电子驱动器安装在远离辐射的安全距离之外。这同样适用于测量设备。必须避免有源传感器,因为传感器电子元件同样会受到射线的破坏。


工艺适应性


确保涡轮分子泵与特定工艺过程相适应,这很重要。来自我们专家的详细建议和有关工艺过程与其特点的准确信息可以确保最佳解决方案。对于腐蚀过程,特别是在半导体行业中,有必要使用密封气体操作泵,针对滚珠轴承泵使用合成的 PFPE 油,以及使用抗腐蚀材料(如镍或陶瓷涂料)制作转子。


密封的气体,如干氮,能够在这些与迷宫密封相连接的滚珠轴承外部形成一层非常好的防腐蚀和防尘保护膜。在估量前级泵大小时,该额外的气体负载必须考虑在内。提供的密封气阀能够调节最优密封气流。必须遵守操作说明书中规定的密封气体压力。


当泵出的氧气浓度高于大气中的氧气含量时,务必要确保矿物油不被氧化,从而失去其润滑性能。这可通过使用氮气作为密封气体和/或 PFPE 油来避免。


对于有形成沉积物趋向的工艺,如在化学气相沉积 (CVD) 中,镀膜工艺将在转子和面向处理室的外壳部件上持续进行件。这将会引发不平衡和震动,致使转子破碎。在此类工艺中,甚至在设计处理室时就要将这些预防措施和附加的监控方案考虑在内,这一点很重要。如有可能,应将涡轮分子泵倒置安装,受重力影响,这些灰尘会自然掉落且不易在泵内沉积。建议安装一个挡板,防止灰尘直接落到正在运转的泵上。如果架空安装无法实现,可以将其以 90 度角安装在T型架的侧面。前级端口应该朝下。


普发分子泵维修小贴士:关于分子泵大家了解了多少呢?

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