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普发分子泵维修技术之震动频谱分析
作者:管理员    发布于:2018-09-20 14:34:50    文字:【】【】【

普发分子泵维修在半导体晶圆的制造中,光磁存储生产中,太阳能面板制造中,TFTOLED及其他光学高端镀膜中,高端分析仪器及航空航天研究中,都离不开高真空,涡轮分子泵,复合分子泵,磁悬浮分子泵是目前获得高真空蕞好设备之一,其工作原理是利用高速旋转的多层转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被一层一层定子隔离,蕞终驱向排气口后为前级抽走而获得高真空。

普发分子泵维修分子泵转子,是典型的高速挠性转子,其多达十几层几百个叶片,转动的叶片和定子之间只有0.1毫米,制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时,叶片端部的速度接近超音速,每次开始转动、停下时,加速度和减速度都很大,轻微的偏差都将引起极大的震动,其平衡级别要求远在国际蕞高标准G0.4之上,在其泵壳测量出的震动值要求达到0.01um,高速在线动平衡调整是其核心技术之一。

普发分子泵维修而高速旋转体,普遍存在状态的难确定性,涡轮分子泵的生产国家及厂商主要集中在英国爱德华公司(Edwards),德国莱宝(leybold)公司及普发(Pfeiffer)公司,法国的阿尔卡特(Alcatel)公司及意大利的瓦里安(Varian)公司,日本的岛津(shimadzu),大阪(Osaka)及荏原(Ebara),他们无一例外都告知客户大约在12年后将分子泵送回原厂维修,用户不知道如何判断涡轮分子泵的状态。新泵使用一到两年后,有的分子泵状态还好,完全无需送修;有的就状态就很差,甚至已报废。而分子泵拆卸及安装会耗时不少,送修国外更是费时费力,价格不菲。

涡轮普发分子泵维修,复合分子泵维修,磁悬浮分子泵维修是项非常细致的工作,同时必须借助专门的分子泵维修和检测设备。震动频谱分析仪就是涡轮分子泵维修的必备设备之一。

分子泵若轴承滚珠磨损,内圈磨损,外圈磨损,油脂不良,旋转偏差,对中不良,主轴弯曲,平衡不良等,都会表现在震动上,通过分子泵维修专用的震动频谱分析仪,查看一定范围的加速度频谱值,就能迅速准确判断出分子泵的状态。

专业的普发分子泵维修公司一定会配备震动频谱分析设备,相反一些小的山寨厂,四处晃荡抄袭资料,可能连震动频谱报告都未必能看明白,不能不防。

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